张军然副教授在Small期刊报道基于杂化钙钛矿多彩图案化研究成果

杂化钙钛矿由于其优异的光子和光电子特性而成为研究热点。然而，由于杂化钙钛矿的有机成分易溶于微加工过程中的有机溶液，例如，电子束光刻(EBL)过程中的显影液等，因此，杂化钙钛矿的微加工问题成为器件小型化和集成化应用的阻碍。基于杂化钙钛矿的高分辨图案化加工技术成为急需解决的问题。

本文中，我们灵活设计了一种微加工方法，可以在杂化钙钛矿上实现高分辨的图案。通过结合EBL技术、两步法生长钙钛矿以及气相法替换钙钛矿阳离子，可以实现高达152nm的图案分辨率。这种高分辨的微加工技术可以同时在发光和光电探测器件上应用。更有趣的是，我们可以在单一纳米片上实现高分辨的多彩同时发光。我们的这种微加工技术对基于钙钛矿的高集成小型化器件具有重要意义。

图1杂化钙钛矿纳米片上的高分辨图案。

图2杂化钙钛矿纳米片的多彩图案。

以上工作以“Lithographic Multicolor Patterning on Hybrid Perovskite for Nano-optoelectronic Applications”为题发表于Small期刊（影响因子15.153）。柔性电子学院研究生周大伟、赵培宜和我院张军然副教授为该论文的共同第一作者。柔性电子学院王琳教授为该论文的通讯作者。

文章链接：https://doi.org/10.1002/smll.202205227

以上工作得到了国家自然科学基金项目和江苏省自然科学基金项目的支持。

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